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Temptronic ThermoChuck

Temptronic ThermoChuck

产品描述

完美体育365官方网站美国 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系统利用导电加热和冷却系统, 搭配晶圆探针台共同使用, 提供 -65 至 +300°C 高低温环境, 适用晶圆 150 mm、200 mm、300 mm , 可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试, 例如低泄漏探测(fA)和高电压探测(10 kv), 适用于晶圆、芯片在电高低温环境下的特性描述、失效分析等. Temptronic ThermoChuck 适合各种厂牌晶圆探针台.

  • 技术参数

  • Temptronic ThermoChuck 技术参数：

    一、晶圆尺寸：150 和 200 mm

    ThermoChuck 型号

    温度范围°C

    冷却

    加热

    TP03000A

    -65 to +200°C

    Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling

    热电

    TP03010A

    +20 to +200°C

    风冷/水冷*

    热电

    TP03010B

    0 to +200°C

    Closed loop glycol/water cooling

    热电

     

    电压 115V或 220V
    * 用户提供冷却介质

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您好, 我们的联络方式：
电话： +86-21-5046-1322
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