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美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列

Ion source Gridless eH

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列
KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列

产品描述

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 系列属于宽束型离子源, 散射角度>45°.

霍尔离子源气体流量可选 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同级别.

霍尔离子源电流可选 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 等.

霍尔离子源高浓度提高镀膜沉积速率, 低动能减少离子轰击损伤表面, 宽束设计有效提高吞吐量和覆盖沉积区.

整体易操作, 易维护. 霍尔离子源 eH 提供一套完整的方案包含离子源, 电子中和器, 电源供应器, 流量控制器 MFC 等等.

产品特性
技术参数
应用案例
基本组成

美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品特性：

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列产品特性:

1.无栅极

2.高电流低能量

3.发散光束 >45°

4.可快速更换阳极模块

5.可选 Cathode / Neutralize 中和器

美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列技术参数：

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:

离子源型号	霍尔离子源 eH200(停产)	霍尔离子源 eH400 eH400LE	霍尔离子源 eH1000 eH1000LE eH1000LO	霍尔离子源 eH1000xO2	霍尔离子源 eH2000 eH2000LE eH2000HO	霍尔离子源 eH3000 eH3000LO eH3000MO
Cathode/Neutralizer	F or HC	F or HC	F or HC	F or HC	F or HC HC HC	HC
电压	30-300V	50-300V 30-150V	50-300V 30-150V 50-300V	100-300V	50-300V 30-150V 50-250V	50-250V 50-300V 50-250V
电流	2A	5A 10A	10A 12A 5A	10A	10A 15A 15A	20A 10A 15A
散射角度	>45	>45	>45	>45	>45	>45
可充其他	Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
气体流量	1-15sccm	2-25sccm	2-50sccm	2-50sccm	2-75sccm	5-100sccm
高度	2.0“	3.0“	4.0“	4.0“	4.0“	6.0“
直径	2.5“	3.7“	5.7“	5.7“	5.7“	9.7“
水冷	无	可选	可选	可选	是	可选

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列应用案例：

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列相关应用案例

1.完美体育 KRI 霍尔离子源 EH400 HC用于离子刻蚀 IBE

2. KRI 霍尔离子源 EH 3000 HC用于辅助天文望远镜镜片镀膜

3. 完美体育 KRI 霍尔离子源 EH 4200辅助镀膜 IBAD用于 PC 预清洁

4. KRI 考夫曼霍尔离子源辅助光学镀膜

5. 完美体育 KRI 霍尔离子源 EH 5500辅助手机壳颜色镀膜

6. KRI 霍尔离子源 EH 3000HC成功应用于天文望远镜镜片离子辅助镀膜工艺IBAD

7. 完美体育 KRI霍尔离子源在样品清洗前处理中的应用

点击查看更多 KRI 离子源相关应用案例》》》
美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列基本组成：

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列基本组成

1. 灯丝

2. 阳极模组

3. 主要模组

4. 底座（可调整角度, 高度）

CONTACT

您好, 我们的联络方式：
电话： +86-21-5046-1322
地址：上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 201206

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CTI On-board Waterpumps

CTI-Cryogenics水泵是一种高性能真空泵,通过提高泵…

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Hakuto 离子蚀刻机 IBE

完美体育365官方网站日本原装进口离子蚀刻机IBE包含小型离子蚀刻…

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CTI-Cryogenics 系列压缩机

CTI-Cryogenics

CTI-Cryogenics提供多种可供选择的压缩机,旨在与CT…

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CTI On-board 低温泵

CTI On-board Cryopump

CTI-CryogencisOn-Board低温真空泵加速集成和改进的…

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CTI-Cryogenics Cryo-Torr 低温泵

CTI-Cryogenics Cryo-Torr Crypump

为了增加灵活性,您可以添加自己的自定义控件和外围支…

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美国 KRI 射频离子源 RFICP 系列

Ion source Gridded RFICP

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI射频…

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CTI On-Board® IS XP 低温泵

CTI On-Board® IS XP Cryopump

CTIOn-Board®ISXP低温泵可为PVD应用提供更大的…

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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列

Ion source Gridded KDC

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI考夫…

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ATC 压差型微流量空气检漏仪 E2

完美体育365官方网站代理美国原装进口ATC微流量空气泄漏测试仪E…

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美国 KRI 霍尔离子源 eH 2000

Ion source Gridless eH 2000

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI霍尔…

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ATC 高灵敏度型微流量空气检漏仪 VE2

ATC高灵敏度型微流量空气检漏仪VE2泄漏率/灵敏度:1&…

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美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI霍尔…

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ATC 空气检漏仪 IPE2 / IPE2-HP

ATC空气检漏仪IPE2、IPE2-HP泄漏率/灵敏度:0.02cc/…

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ATC 空气检漏仪 ME2

ATC空气检漏仪ME2型号使用空气、水蒸气,高灵敏度:7&…

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ATC 空气检漏仪 ME3

ATC空气检漏仪ME3泄漏率/灵敏度:7·10-7sccs…

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美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI线性…

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ATC 紧凑型 Micro-Flow（微流量）空气检漏仪 E-PDQ (EQ)

ATC紧凑型Micro-Flow（微流量）空气检漏仪E-PDQ专为…

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CTI On-Board® IS 320FX 低温泵

On-Board® IS 320FX Crypump

On-Board®IS320FX低温泵,专为应对当今离子注入…

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HVA 不锈钢球阀 2000系列

HVA 2000 Stainless Steel Ball Valves Series

HVA不锈钢球阀是用于隔离液位计,前级疏水阀,石化产品…

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带盖 VR 托盘外夹 ( -00B 款需要使用 )

带盖VR托盘外夹(-00B款需要使用)

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Pen-Vac 真空拾取工具（ VPV ）

Pen-Vac是理想的手动从真空释放托盘卸载器件的工具,…

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晶圆 / 大规格 VR真空板（VP-900）

一种特殊的金属固定板,用于在真空状态下存放VR-925,…

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真空释放台 ( VRS-24 )

真空释放台使用客户提供的连续真空,并将其应用于Gel…

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真空手泵 ( VHP-24 )

美国Gel-Pak真空手泵产品是理想的低批量生产和研发应…

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集成真空台 / 拾取工具 ( GP-TrayVac / A）

该系统使用客户提供的压缩空气(在0.5SCFM,60-80psi…

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Pfeiffer 普发防爆型双级旋片泵 DUO 11 ATEX

Pfeiffer DUO 11 ATEX

完美体育365官方网站Pfeiffer普发防爆型双级旋片泵DUO11ATEX新…

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单级旋片真空泵 UnoLine

UnoLine

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer单级旋片泵UnoLine，…

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Pfeiffer 普发单级旋片泵 HenaLine

Pfeiffer HenaLine

单级旋片泵HenaLine：低震动，低噪音，运行温度低！…

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双级旋片真空泵 Pascal SD 系列

完美体育公司双级旋片真空泵PascalSD系列适合无腐蚀性气…

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Pfeiffer 普发双级旋片真空泵 DuoLine

Pfeiffer DuoLine

完美体育365官方网站销售维修德国普发PfeifferDuoLine系列双级…

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单级旋片真空泵

完美体育公司单级旋片真空泵AdixenPascalSD系列包含型号…

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单级旋片泵 UnoLine Plus

UnoLine Plus

单级旋片真空泵UnoLinePlus：最坚固耐用的旋片泵，适…

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全磁浮涡轮分子泵 ATP 2300 M

全磁浮涡轮分子泵ATP2300M,对氮气的抽速最高可达205…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 3204 M

全磁浮涡轮分子泵ATH3204M,对氮气的抽速最高可达280…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 2804 M

全磁浮涡轮分子泵ATH2804M,对氮气的抽速最高可达235…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 2300 M

完美体育365官方网站AdixenbyPfeiffer全磁浮涡轮分子泵ATH2300…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 1603 M

全磁浮涡轮分子泵ATH1603M,对氮气的抽速最高可达140…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT

全磁浮涡轮分子泵ATH1600MT,对氮气的抽速最高可达13…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M

全磁浮涡轮分子泵ATH500M,对氮气的抽速最高可达550l…

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干式真空泵组 ACG 600

完美体育365官方网站代理德国Pfeiffer干式真空泵(多级罗茨泵)AC…

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干式真空泵 A4X 系列

完美体育365官方网站德国Pfeiffer干式真空泵A4X系列适合半导体、…

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Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J

完美体育365官方网站日本原装进口适合大规模量产使用的Hakuto离…

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Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C

完美体育365官方网站日本原装进口适合中等规模量产使用的Hakuto…

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Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE

完美体育365官方网站日本原装进口小型Hakuto离子蚀刻机7.5IBE,…

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Hakuto 全自动离子蚀刻机 MEL3100

Automated Single wafer System

完美体育公司日本原装进口全自动离子刻蚀机MEL3100,蚀刻…

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干式真空泵 ACP 120

干式真空泵ACP120无须润滑油,无粉尘颗粒污染,低能耗…

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干式真空泵 A 100 L,A 200 L

完美体育365官方网站销售维修Pfeiffer干式真空泵（多级罗茨泵）…

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干式真空泵 ACP 15 / 28 / 40

完美体育365官方网站销售维修德国普发Pfeiffer气冷型干式真空泵…

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Thermonics 超低温液氮制冷机

完美体育365官方网站美国inTEST旗下Thermonics®超低温液氮…

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Thermonics 低温工艺流体冷水机 W-60-4700

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机W-60-47…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-40-1100

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-40-11…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-40-1900

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-40-19…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-40-2700

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-40-27…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-60-2700

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-60-27…

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Thermonics 风冷低温冰水机 A-60-3000

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-60-30…

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Thermonics 风冷低温冰水机 A-60-4600

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-60-46…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-80-500

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-80-50…

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Thermonics 低温冷水机 A-80-1700, 风冷

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-80-17…

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美国 KRI 射频离子源 RFICP 100

Ion source Gridded RFICP 100

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI射频…

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美国 KRI 射频离子源 RFICP 40

Ion source Gridded RFICP 40

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI射频…

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KRI 考夫曼离子源 KDC 100

完美体育365官方网站代理美国KRI考夫曼离子源KDC100,属于中型规…

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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40

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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10

Ion source Gridded KDC 10

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI考夫…

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inTEST ATS-710 热流仪, 高低温冲击测试

完美体育365官方网站美国inTEST热流仪ATS-710-M高低温冲击测试…

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inTEST ATS-730 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-730

完美体育365官方网站美国inTEST高低温测试机(热流仪)ATS-730温…

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inTEST ATS-750 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-750-M

完美体育365官方网站美国inTEST高低温测试机(热流仪)ATS-750温…

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inTEST ATS-770 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-770-M

完美体育365官方网站美国inTESTATS-770超高速高低温循环测试机…

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inTEST ECO-710 热流仪, 高低温冲击测试

ECO-710-M

完美体育365官方网站美国inTESTTemptronic新型号环保型高低温测…

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inTEST ATS-515 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-515

完美体育365官方网站美国inTEST移动式高低温测试机(热流仪)ATS-…

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inTEST ATS-505 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-505

完美体育365官方网站美国inTEST台式高低温测试机(热流仪)ATS-5…

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inTEST ATS-545 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-545-M

完美体育365官方网站是美国inTEST高低温测试机中国总代理,全权负…

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inTEST ECO-560 热流仪,高低温冲击测试机

完美体育365官方网站美国inTEST高低温测试机(热流仪)ECO-560-A…

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inTEST DCP-102 接触式温度冲击测试机

inTEST Temptronic DCP-102

完美体育365官方网站代理美国inTEST高低温测试机(热流仪)推出新…

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Temptronic ThermoChuck

Temptronic ThermoChuck

完美体育365官方网站美国inTEST旗下TemptronicThermoChuck系统…

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HVA 半矩形真空闸阀 28200系列

28200 Series

完美体育HVA不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业最小的内…

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Sigma 高低温试验箱

SigmaSystms

完美体育365官方网站美国inTEST旗下Sigma高低温试验箱,提供标准…

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Sigma Systems 热板 / 冷板

Thermal Platforms & Thermal Plates

SigmaSystems热板/冷板是可以精确控制的温度平台,可…

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HVA 真空层流闸阀 13000系列

HVA 13000 Series

完美体育美国HVA真空层流闸阀13000系列独特的气缸设计使…

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热阴极真空计 PBR 260 IMR 265

PBR 260 IMR 265

完美体育365官方网站Pfeiffer德国普发热阴极真空计PBR260，真空…

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应力薄膜真空计 APR 系列

APR 250

Pfeiffer普发应力薄膜真空计APR系列测量范围从1hPa…

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模拟信号真空计 ActiveLine

ActiveLine PKR and IKR gauges

完美体育365官方网站德国Pfeiffer模拟信号真空计ActiveLine，具…

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模块化真空计显示控制器 IMG 400

IMG 400

完美体育365官方网站德国Pfeiffer模块化真空计显示控制器IMG40…

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真空计套装

TPG361 + TPR280

完美体育365官方网站德国Pfeiffer真空计套装,包含真空计显示控制…

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冷阴极真空计 IKR 系列

IKR 360

完美体育365官方网站Pfeiffer德国普发冷阴极真空计IKR系列测量范…

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皮拉尼真空计 TPR 系列

TPR 270

完美体育365官方网站Pfeiffer德国普发皮拉尼真空计TPR系列测量范…

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皮拉尼电容真空计 PCR 280

PCR 280

完美体育365官方网站德国Pfeiffer皮拉尼/电容真空计PCR280,内置…

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电容薄膜真空计 CMR 系列

ActiveLine CMR

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer电容薄膜真空规CMR系列…

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电容薄膜真空计 CCR 系列

CCR 361

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer电容薄膜真空规CCR系列…

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Pfeiffer 模块化真空计 ModulLine

ModulLine

完美体育365官方网站德国Pfeiffer模块化真空计ModulLine，专为…

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Pfeiffer 德国普发真空计显示器 DPG 202

Pfeiffer DPG 202

1.真空计显示器DPG202双通道设计，可加载2个数字型真…

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Pfeiffer 数字型真空计 DigiLine

DigiLine

完美体育365官方网站代理德国Pfeiffer数字型真空计DigiLine，真…

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Pfeiffer 真空计 CenterLine

CenterLine

完美体育365官方网站普发Pfeiffer总压测量真空计CenterLine系列…

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Pfeiffer 全量程真空计 PKR 系列

PKR IKR

完美体育365官方网站德国普发Pfeiffer全量程真空计PKR系列，型号…

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Pfeiffer 手持真空计 TPG 201,TPG 202

TPG 201,TPG 202

完美体育365官方网站德国普发Pfeiffer手持真空计TPG201,TPG202…

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ActiveLine 真空计显示控制器 TPG 361,TPG 362,TPG 256 A,TPG 366

ActiveLine TPG 361,TPG 362,TPG 256 A,TPG 366

完美体育365官方网站德国Pfeiffer模拟信号真空计ActiveLine专用…

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双级旋片真空泵 Pascal I 系列

完美体育公司双级旋片真空泵PascalI系列专为仪器分析行业…

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Pfeiffer 隔膜泵 MVP 系列

Pfeiffer MVP

隔膜泵MVP系列:绝对干燥无油,超长使用寿命！完美体育365官方网站…

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双级旋片真空泵 Pascal C1 系列

双级旋片真空泵PascalC1系列制造工艺采用耐腐蚀材料…

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双级旋片真空泵 Pascal C2 系列

双级旋片真空泵PascalC2强腐蚀系列,特殊工艺研发设计…

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罗茨泵 HiLobe

HiLobe

完美体育365官方网站代理德国Pfeiffer新一代罗茨泵Hilobe,适用…

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防爆罗茨泵 OktaLine ATEX

OktaLine ATEX

完美体育365官方网站代理的德国Pfeiffer防爆型罗茨泵OktaLineA…

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风冷罗茨泵 OktaLine

OktaLine

完美体育365官方网站Pfeiffer普发罗茨泵OktaLine适用于各种中、…

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气冷罗茨泵 OktaLine G

OktaLine G

完美体育365官方网站Pfeiffer气冷罗茨泵-以更低能耗实现高压差。…

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标准型分子泵组 HiCube Classic

HiCube Classic

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer标准型涡轮分子泵组Hi…

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高性能分子泵组 HiCube Pro

HiCube Pro

完美体育365官方网站销售维修Pfeiffer高性能分子泵组HicubePro…

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涡轮分子泵 HiPace 2800 IT

Turbopumps HiPace 2800 IT

完美体育365官方网站德国Pfeiffer新推出离子注入系统专用涡轮分…

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涡轮分子泵 HiPace 1500

Turbopumps HiPace 1500

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer涡轮分子泵.涡轮分子泵…

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涡轮分子泵 HiPace 800

Turbopumps HiPace 800

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer涡轮分子泵.涡轮分子泵…

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涡轮分子泵 HiPace 700 H

Turbopumps HiPace 700 H

完美体育365官方网站代理德国Pfeiffer新款涡轮分子泵HiPace700…

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Turbopumps 涡轮分子泵 HiPace 400

Turbopumps HiPace 400

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer分子泵.分子泵HiPace…

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磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 800 M

Turbopumps HiPace 800 M

完美体育365官方网站德国Pfeiffer磁悬浮分子泵Hipace800M,五轴…

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磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 700 M

Turbopumps HiPace 700 M

完美体育365官方网站德国Pfeiffer磁悬浮分子泵Hipace700M,5轴…

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磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M

Turbopumps HiPace 300-800M，ATH 500 M

完美体育365官方网站德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵HiPace3…

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Ambrell EKOHEAT 高频感应加热设备 100 kHz 系列

Ambrell EKOHEAT 100 kHz

完美体育365官方网站美国AmbrellEKOHEAT高频感应加热设备100kH…

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Ambrell EKOHEAT 高频感应加热设备 25 kHz 系列

Ambrell EKOHEAT 25 kHz

完美体育365官方网站美国AmbrellEKOHEAT高频感应加热设备25kHZ…

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Ambrell EKOHEAT ® 高频感应加热

Ambrell EKOHEAT

完美体育AmbrellEKOHEAT®高频感应加热系统独特的通…

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Ambrell EASYHEAT 高频感应加热

Ambrell EASYHEAT

完美体育365官方网站美国AmbrellEASYHEAT感应加热设备紧凑设计…

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Ambrell EASYHEAT 高频感应加热设备 0112, 0224

Ambrell EASYHEAT 0112, 0224

完美体育365官方网站美国AmbrellEASYHEAT紧凑小型高频感应加热…

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Ambrell EASYHEAT 高频感应加热设备 3542, 5060,7590,8310

Ambrell EASYHEAT 3542, 5060,7590,8310

完美体育365官方网站美国AmbrellEASYHEAT高频感应加热设备3542…

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完美体育 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M

Turbopumps ATH 1600-3200M, ATP 2300M

完美体育365官方网站德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵ATH1600…

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完美体育 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1800

Turbopumps Pfeiffer HiPace 1800

完美体育365官方网站销售维修德国普发Pfeiffer涡轮分子泵.涡轮分…

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干式螺杆泵 HeptaDry 系列

HeptaDry

凭藉Pfeiffer干式螺杆泵HeptaDry™干式真空泵…

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