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美国 KRI 霍尔离子源 eH 2000

Ion source Gridless eH 2000

霍尔离子源 EH2000

产品描述

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 霍尔离子源 eH 2000 特别适合大中型真空系统, 带有水冷方式, 低成本设计提供高离子电流. 通常应用于离子辅助镀膜, 预清洗和低能量离子蚀刻.

尺寸: 直径= 5.7“ 高= 5.5”

放电电压 / 电流: 50-300V / 10A 或 15A

操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

产品特性
技术参数
应用领域
应用案例

美国 KRI 霍尔离子源 eH 2000 产品特性：

完美体育 KRI 霍尔离子源 eH 2000 特性：

1.水冷 - 与 KRI 霍尔离子源 eh 1000 对比, 提供更高的离子输出电流

2.可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 最大限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极

3.宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率

4.多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便

5.高效的等离子转换和稳定的功率控制

美国 KRI 霍尔离子源 eH 2000 技术参数：

完美体育 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:

离子源型号	霍尔离子源 eH2000 eH2000LE eH2000HO
Cathode/Neutralizer	F or HC HC HC
电压	50-300V 30-150V 50-250V
电流	10A 15A 15A
散射角度	>45
可充其他	Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
气体流量	2-75sccm
高度	4.0“
直径	5.7“
水冷	是

美国 KRI 霍尔离子源 eH 2000 应用领域：

完美体育 KRI 霍尔离子源 eH2000 应用领域：

1. 离子辅助镀膜 IAD

2. 预清洗 Load lock preclean

3. 预清洗 In-situ preclean

4. Direct Deposition

5. Surface Modification

6. Low-energy etching

7. III-V Semiconductors

8. Polymer Substrates
美国 KRI 霍尔离子源 eH 2000 应用案例：

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点击查看更多 KRI 离子源相关应用案例》》》

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CTIOn-Board®ISXP低温泵可为PVD应用提供更大的…

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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列

Ion source Gridded KDC

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI考夫…

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ATC 压差型微流量空气检漏仪 E2

完美体育365官方网站代理美国原装进口ATC微流量空气泄漏测试仪E…

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ATC 高灵敏度型微流量空气检漏仪 VE2

ATC高灵敏度型微流量空气检漏仪VE2泄漏率/灵敏度:1&…

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美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI霍尔…

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ATC 空气检漏仪 IPE2 / IPE2-HP

ATC空气检漏仪IPE2、IPE2-HP泄漏率/灵敏度:0.02cc/…

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ATC 空气检漏仪 ME2

ATC空气检漏仪ME2型号使用空气、水蒸气,高灵敏度:7&…

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美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列

Ion source Gridless eH

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI霍尔…

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ATC 空气检漏仪 ME3

ATC空气检漏仪ME3泄漏率/灵敏度:7·10-7sccs…

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美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI线性…

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ATC 紧凑型 Micro-Flow（微流量）空气检漏仪 E-PDQ (EQ)

ATC紧凑型Micro-Flow（微流量）空气检漏仪E-PDQ专为…

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CTI On-Board® IS 320FX 低温泵

On-Board® IS 320FX Crypump

On-Board®IS320FX低温泵,专为应对当今离子注入…

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HVA 不锈钢球阀 2000系列

HVA 2000 Stainless Steel Ball Valves Series

HVA不锈钢球阀是用于隔离液位计,前级疏水阀,石化产品…

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带盖 VR 托盘外夹 ( -00B 款需要使用 )

带盖VR托盘外夹(-00B款需要使用)

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Pen-Vac 真空拾取工具（ VPV ）

Pen-Vac是理想的手动从真空释放托盘卸载器件的工具,…

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晶圆 / 大规格 VR真空板（VP-900）

一种特殊的金属固定板,用于在真空状态下存放VR-925,…

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真空释放台 ( VRS-24 )

真空释放台使用客户提供的连续真空,并将其应用于Gel…

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真空手泵 ( VHP-24 )

美国Gel-Pak真空手泵产品是理想的低批量生产和研发应…

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集成真空台 / 拾取工具 ( GP-TrayVac / A）

该系统使用客户提供的压缩空气(在0.5SCFM,60-80psi…

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Pfeiffer 普发防爆型双级旋片泵 DUO 11 ATEX

Pfeiffer DUO 11 ATEX

完美体育365官方网站Pfeiffer普发防爆型双级旋片泵DUO11ATEX新…

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单级旋片真空泵 UnoLine

UnoLine

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer单级旋片泵UnoLine，…

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Pfeiffer 普发单级旋片泵 HenaLine

Pfeiffer HenaLine

单级旋片泵HenaLine：低震动，低噪音，运行温度低！…

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双级旋片真空泵 Pascal SD 系列

完美体育公司双级旋片真空泵PascalSD系列适合无腐蚀性气…

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Pfeiffer 普发双级旋片真空泵 DuoLine

Pfeiffer DuoLine

完美体育365官方网站销售维修德国普发PfeifferDuoLine系列双级…

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单级旋片真空泵

完美体育公司单级旋片真空泵AdixenPascalSD系列包含型号…

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单级旋片泵 UnoLine Plus

UnoLine Plus

单级旋片真空泵UnoLinePlus：最坚固耐用的旋片泵，适…

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全磁浮涡轮分子泵 ATP 2300 M

全磁浮涡轮分子泵ATP2300M,对氮气的抽速最高可达205…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 3204 M

全磁浮涡轮分子泵ATH3204M,对氮气的抽速最高可达280…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 2804 M

全磁浮涡轮分子泵ATH2804M,对氮气的抽速最高可达235…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 2300 M

完美体育365官方网站AdixenbyPfeiffer全磁浮涡轮分子泵ATH2300…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 1603 M

全磁浮涡轮分子泵ATH1603M,对氮气的抽速最高可达140…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT

全磁浮涡轮分子泵ATH1600MT,对氮气的抽速最高可达13…

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全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M

全磁浮涡轮分子泵ATH500M,对氮气的抽速最高可达550l…

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干式真空泵组 ACG 600

完美体育365官方网站代理德国Pfeiffer干式真空泵(多级罗茨泵)AC…

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干式真空泵 A4X 系列

完美体育365官方网站德国Pfeiffer干式真空泵A4X系列适合半导体、…

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Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J

完美体育365官方网站日本原装进口适合大规模量产使用的Hakuto离…

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Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C

完美体育365官方网站日本原装进口适合中等规模量产使用的Hakuto…

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Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE

完美体育365官方网站日本原装进口小型Hakuto离子蚀刻机7.5IBE,…

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Hakuto 全自动离子蚀刻机 MEL3100

Automated Single wafer System

完美体育公司日本原装进口全自动离子刻蚀机MEL3100,蚀刻…

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干式真空泵 ACP 120

干式真空泵ACP120无须润滑油,无粉尘颗粒污染,低能耗…

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干式真空泵 A 100 L,A 200 L

完美体育365官方网站销售维修Pfeiffer干式真空泵（多级罗茨泵）…

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干式真空泵 ACP 15 / 28 / 40

完美体育365官方网站销售维修德国普发Pfeiffer气冷型干式真空泵…

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Thermonics 超低温液氮制冷机

完美体育365官方网站美国inTEST旗下Thermonics®超低温液氮…

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Thermonics 低温工艺流体冷水机 W-60-4700

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机W-60-47…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-40-1100

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-40-11…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-40-1900

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-40-19…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-40-2700

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-40-27…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-60-2700

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-60-27…

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Thermonics 风冷低温冰水机 A-60-3000

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-60-30…

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Thermonics 风冷低温冰水机 A-60-4600

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-60-46…

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Thermonics 风冷低温冷水机 A-80-500

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-80-50…

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Thermonics 低温冷水机 A-80-1700, 风冷

完美体育365官方网站美国Thermonics低温工艺流体冷水机A-80-17…

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美国 KRI 射频离子源 RFICP 100

Ion source Gridded RFICP 100

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI射频…

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美国 KRI 射频离子源 RFICP 40

Ion source Gridded RFICP 40

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI射频…

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KRI 考夫曼离子源 KDC 100

完美体育365官方网站代理美国KRI考夫曼离子源KDC100,属于中型规…

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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI考夫…

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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10

Ion source Gridded KDC 10

完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司KRI考夫…

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inTEST ATS-710 热流仪, 高低温冲击测试

完美体育365官方网站美国inTEST热流仪ATS-710-M高低温冲击测试…

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inTEST ATS-730 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-730

完美体育365官方网站美国inTEST高低温测试机(热流仪)ATS-730温…

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inTEST ATS-750 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-750-M

完美体育365官方网站美国inTEST高低温测试机(热流仪)ATS-750温…

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inTEST ATS-770 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-770-M

完美体育365官方网站美国inTESTATS-770超高速高低温循环测试机…

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inTEST ECO-710 热流仪, 高低温冲击测试

ECO-710-M

完美体育365官方网站美国inTESTTemptronic新型号环保型高低温测…

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inTEST ATS-515 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-515

完美体育365官方网站美国inTEST移动式高低温测试机(热流仪)ATS-…

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inTEST ATS-505 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-505

完美体育365官方网站美国inTEST台式高低温测试机(热流仪)ATS-5…

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inTEST ATS-545 热流仪, 高低温冲击测试

inTEST ATS-545-M

完美体育365官方网站是美国inTEST高低温测试机中国总代理,全权负…

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inTEST ECO-560 热流仪,高低温冲击测试机

完美体育365官方网站美国inTEST高低温测试机(热流仪)ECO-560-A…

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inTEST DCP-102 接触式温度冲击测试机

inTEST Temptronic DCP-102

完美体育365官方网站代理美国inTEST高低温测试机(热流仪)推出新…

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Temptronic ThermoChuck

Temptronic ThermoChuck

完美体育365官方网站美国inTEST旗下TemptronicThermoChuck系统…

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HVA 半矩形真空闸阀 28200系列

28200 Series

完美体育HVA不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业最小的内…

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Sigma 高低温试验箱

SigmaSystms

完美体育365官方网站美国inTEST旗下Sigma高低温试验箱,提供标准…

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Sigma Systems 热板 / 冷板

Thermal Platforms & Thermal Plates

SigmaSystems热板/冷板是可以精确控制的温度平台,可…

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HVA 真空层流闸阀 13000系列

HVA 13000 Series

完美体育美国HVA真空层流闸阀13000系列独特的气缸设计使…

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热阴极真空计 PBR 260 IMR 265

PBR 260 IMR 265

完美体育365官方网站Pfeiffer德国普发热阴极真空计PBR260，真空…

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应力薄膜真空计 APR 系列

APR 250

Pfeiffer普发应力薄膜真空计APR系列测量范围从1hPa…

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模拟信号真空计 ActiveLine

ActiveLine PKR and IKR gauges

完美体育365官方网站德国Pfeiffer模拟信号真空计ActiveLine，具…

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模块化真空计显示控制器 IMG 400

IMG 400

完美体育365官方网站德国Pfeiffer模块化真空计显示控制器IMG40…

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真空计套装

TPG361 + TPR280

完美体育365官方网站德国Pfeiffer真空计套装,包含真空计显示控制…

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冷阴极真空计 IKR 系列

IKR 360

完美体育365官方网站Pfeiffer德国普发冷阴极真空计IKR系列测量范…

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皮拉尼真空计 TPR 系列

TPR 270

完美体育365官方网站Pfeiffer德国普发皮拉尼真空计TPR系列测量范…

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皮拉尼电容真空计 PCR 280

PCR 280

完美体育365官方网站德国Pfeiffer皮拉尼/电容真空计PCR280,内置…

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电容薄膜真空计 CMR 系列

ActiveLine CMR

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer电容薄膜真空规CMR系列…

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电容薄膜真空计 CCR 系列

CCR 361

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer电容薄膜真空规CCR系列…

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Pfeiffer 模块化真空计 ModulLine

ModulLine

完美体育365官方网站德国Pfeiffer模块化真空计ModulLine，专为…

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Pfeiffer 德国普发真空计显示器 DPG 202

Pfeiffer DPG 202

1.真空计显示器DPG202双通道设计，可加载2个数字型真…

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Pfeiffer 数字型真空计 DigiLine

DigiLine

完美体育365官方网站代理德国Pfeiffer数字型真空计DigiLine，真…

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Pfeiffer 真空计 CenterLine

CenterLine

完美体育365官方网站普发Pfeiffer总压测量真空计CenterLine系列…

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Pfeiffer 全量程真空计 PKR 系列

PKR IKR

完美体育365官方网站德国普发Pfeiffer全量程真空计PKR系列，型号…

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Pfeiffer 手持真空计 TPG 201,TPG 202

TPG 201,TPG 202

完美体育365官方网站德国普发Pfeiffer手持真空计TPG201,TPG202…

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ActiveLine 真空计显示控制器 TPG 361,TPG 362,TPG 256 A,TPG 366

ActiveLine TPG 361,TPG 362,TPG 256 A,TPG 366

完美体育365官方网站德国Pfeiffer模拟信号真空计ActiveLine专用…

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双级旋片真空泵 Pascal I 系列

完美体育公司双级旋片真空泵PascalI系列专为仪器分析行业…

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Pfeiffer 隔膜泵 MVP 系列

Pfeiffer MVP

隔膜泵MVP系列:绝对干燥无油,超长使用寿命！完美体育365官方网站…

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双级旋片真空泵 Pascal C1 系列

双级旋片真空泵PascalC1系列制造工艺采用耐腐蚀材料…

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双级旋片真空泵 Pascal C2 系列

双级旋片真空泵PascalC2强腐蚀系列,特殊工艺研发设计…

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罗茨泵 HiLobe

HiLobe

完美体育365官方网站代理德国Pfeiffer新一代罗茨泵Hilobe,适用…

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防爆罗茨泵 OktaLine ATEX

OktaLine ATEX

完美体育365官方网站代理的德国Pfeiffer防爆型罗茨泵OktaLineA…

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风冷罗茨泵 OktaLine

OktaLine

完美体育365官方网站Pfeiffer普发罗茨泵OktaLine适用于各种中、…

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气冷罗茨泵 OktaLine G

OktaLine G

完美体育365官方网站Pfeiffer气冷罗茨泵-以更低能耗实现高压差。…

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标准型分子泵组 HiCube Classic

HiCube Classic

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer标准型涡轮分子泵组Hi…

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高性能分子泵组 HiCube Pro

HiCube Pro

完美体育365官方网站销售维修Pfeiffer高性能分子泵组HicubePro…

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涡轮分子泵 HiPace 2800 IT

Turbopumps HiPace 2800 IT

完美体育365官方网站德国Pfeiffer新推出离子注入系统专用涡轮分…

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涡轮分子泵 HiPace 1500

Turbopumps HiPace 1500

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer涡轮分子泵.涡轮分子泵…

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涡轮分子泵 HiPace 800

Turbopumps HiPace 800

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer涡轮分子泵.涡轮分子泵…

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涡轮分子泵 HiPace 700 H

Turbopumps HiPace 700 H

完美体育365官方网站代理德国Pfeiffer新款涡轮分子泵HiPace700…

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Turbopumps 涡轮分子泵 HiPace 400

Turbopumps HiPace 400

完美体育365官方网站销售维修德国Pfeiffer分子泵.分子泵HiPace…

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磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 800 M

Turbopumps HiPace 800 M

完美体育365官方网站德国Pfeiffer磁悬浮分子泵Hipace800M,五轴…

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磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 700 M

Turbopumps HiPace 700 M

完美体育365官方网站德国Pfeiffer磁悬浮分子泵Hipace700M,5轴…

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磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M

Turbopumps HiPace 300-800M，ATH 500 M

完美体育365官方网站德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵HiPace3…

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Ambrell EKOHEAT 高频感应加热设备 100 kHz 系列

Ambrell EKOHEAT 100 kHz

完美体育365官方网站美国AmbrellEKOHEAT高频感应加热设备100kH…

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Ambrell EKOHEAT 高频感应加热设备 25 kHz 系列

Ambrell EKOHEAT 25 kHz

完美体育365官方网站美国AmbrellEKOHEAT高频感应加热设备25kHZ…

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Ambrell EKOHEAT ® 高频感应加热

Ambrell EKOHEAT

完美体育AmbrellEKOHEAT®高频感应加热系统独特的通…

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Ambrell EASYHEAT 高频感应加热

Ambrell EASYHEAT

完美体育365官方网站美国AmbrellEASYHEAT感应加热设备紧凑设计…

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Ambrell EASYHEAT 高频感应加热设备 0112, 0224

Ambrell EASYHEAT 0112, 0224

完美体育365官方网站美国AmbrellEASYHEAT紧凑小型高频感应加热…

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Ambrell EASYHEAT 高频感应加热设备 3542, 5060,7590,8310

Ambrell EASYHEAT 3542, 5060,7590,8310

完美体育365官方网站美国AmbrellEASYHEAT高频感应加热设备3542…

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完美体育 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M

Turbopumps ATH 1600-3200M, ATP 2300M

完美体育365官方网站德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵ATH1600…

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完美体育 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1800

Turbopumps Pfeiffer HiPace 1800

完美体育365官方网站销售维修德国普发Pfeiffer涡轮分子泵.涡轮分…

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干式螺杆泵 HeptaDry 系列

HeptaDry

凭藉Pfeiffer干式螺杆泵HeptaDry™干式真空泵…

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