CTI On-Board® IS XP 低温泵
CTI On-Board® IS XP 低温泵可为 PVD 应用提供更大的容量, 从而在保持制程透明度的同时实现最高的生产率. 同时, 它具有成熟的能效、稳定的性能和较低的拥有成本.
CTI On-Board® IS XP 低温泵优势:
1. 提供容量余量以用于将来的制程改进
2. 更低的拥有成本
3. 增加的正常运行时间
4. 智能的“自我调节”技术以实现稳定的真空性能
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