完美体育365官方网站代理光驰科技镀膜机, 以日本品质中国制造为宗旨,严格质量管理。为客户提供优质的精密光学镀膜机。承担镀膜机研发、设计、组装调试、售后服务。
光驰科技专注于半导体光学领域,以原子层沉积设备及技术解决方案为首发产品,用于微显示、化合物半导体、晶圆级光学、图像传感器等光学光电子器件中,并被国际一流手机、LED、新兴显示公司认可和采用;二期以半导体刻蚀机项目为主,在干刻刻蚀与光学领域应用为主,同时进行半导体领域的核心器件的刻蚀研发。
完美体育365官方网站代理OPTPRUN 光驰原子层沉积装置 ADLER系列
真空室 |
W900mm x D900mm x H1150mm |
沉积箱 |
W374mm x D700mm x H800mm |
转板架 |
φ350支架×40步,30rpm |
等离子源 |
ICP(电感耦合等离子体) |
前体来源 |
前体容器、ALD 阀、前体(TMA、3DMAS、TiCl4 等) |
排气系统 |
干泵 |
产品详细资料
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