1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 完美体育365官方网站是美国考夫曼离子源中国总代理.
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霍尔离子源 射频离子源 考夫曼离子源 离子源自动控制器
KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 属于栅网离子源, 可选聚焦型考夫曼离子源, 平行型考夫曼离子源, 散射型离子源.
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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 160
完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 160. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.
| 离子源型号 |
Discharge |
离子束流 |
离子动能 |
离子束 |
流量 |
典型压力 |
中和器 |
栅极直径 |
长度 |
直径 |
通气 |
| 离子源 KDC 160 |
DC 热离子 |
>650 mA |
100-1200 V |
聚焦, 平行, 散射 |
2-30 sccm |
< 0.5m Torr |
灯丝 |
16 cm Φ |
25.2 cm |
23.2 cm |
Ar, Kr, Xe,
O2, N2, H2, 其他
|
* 可选: 可调角度的支架
产品详细资料
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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75
完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 75, 紧凑栅网离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.
| 离子源型号 |
Discharge |
离子束流 |
离子动能 |
离子束 |
流量 |
典型压力 |
中和器 |
栅极直径 |
长度 |
直径 |
通气 |
| 离子源 KDC 75 |
DC 热离子 |
>250 mA |
100-1200 V |
聚焦, 平行, 散射 |
2-15 sccm |
< 0.5m Torr |
灯丝 |
7.5 cm Φ |
20.1 cm |
14 cm |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
* 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架
产品详细资料
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美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列
完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 系列. 属于栅网离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.
离子束流: >10 mA~650 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.
加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
产品详细资料
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KRI 考夫曼离子源 KDC 100
完美体育365官方网站代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100, 属于中型规格栅网离子源. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.
| 离子源型号 |
Discharge |
离子束流 |
离子动能 |
流量 |
典型压力 |
中和器 |
栅极直径 |
长度 |
直径 |
通气 |
| 离子源 KDC 100 |
DC 热离子 |
>400 mA |
100-1200 V |
2-20 sccm |
< 0.5m Torr |
灯丝 |
12 cm Φ |
23.5 cm |
19.4 cm |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
* 可选: 可调角度的支架
产品详细资料
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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40
完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 40. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.
| 离子源型号 |
Discharge |
离子束流 |
离子动能 |
栅极直径 |
流量 |
典型压力 |
长度 |
直径 |
中和器 |
| 离子源 KDC 40 |
DC 热离子 |
>100 mA |
100-1200 V |
4 cm Φ |
2-10 sccm |
< 0.5m Torr |
17.1 cm |
9 cm |
灯丝 |
产品详细资料
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美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10
完美体育365官方网站代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 10, 宽束栅网离子源,最小型号的离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.
| 离子源型号 |
Discharge |
离子束流 |
离子动能 |
流量 |
典型压力 |
栅极直径 |
长度 |
直径 |
中和器 |
| 离子源 KDC 10 |
DC 热离子 |
>10 mA |
100-1200 V |
1-5 sccm |
< 0.5m Torr |
1 cm Φ |
11.5 cm |
4 cm |
灯丝 |
产品详细资料
